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澳门永利总站薄膜的p型掺杂及光学和电学性质

发布时间:2017-10-30 19:02 编辑:澳门永利总站

1.1 澳门永利总站试验所需丈量仪器 
  以Kratos企业出产的剖析仪器进行XPS丈量;能量为1486.6eV的Al Ka射线阳极功率为225W的激光光源;捆绑能采纳碳氢化合物Cls的284.8eV峰作为能量校正;XRD测验采纳DMAX2400型X射线衍射谱;测角仪设置,防散狭缝及发散狭缝均为1°,接纳狭缝为0.30 mm;扫描速度为4°/min,扫描范围在20°~80°之间;运用SMS1000型霍尔丈量仪进行掺杂活性原子N的ZnO薄膜Hall丈量;运用F-2500型光谱仪进行吸取光谱及光致发光光谱丈量;PL谱丈量条件设定:扫描速度为300 nm/min;激光光源波长为320.0 nm,光源狭缝为20.0 nm,接纳光谱狭缝设定为20.0 nm;PNT电压设定为400 V。 
  1.2 试验进程 
  运用CVD技能,制备掺氮ZnO薄膜,运用二水合醋酸锌为前驱,氮源采纳醋酸铵,将二水合醋酸锌温度操控为250 ℃,醋酸铵温度操控在120 ℃;依据不同的测验意图,出产ZnO薄膜衬底资料别离挑选运用硅片、一般玻片、石英玻片及ITO导电玻璃;将氧气流量设定为10 ml/min;经过体系内温度及压强,对产品炉内产品进行操控,中心温区温度操控在400 ℃~500 ℃范围内,升温及保温时间别离为60 min与30 min,压强设定为0.1~2.0 kPa;在试验反响完毕后,体系在氧气中天然冷却到室温温度。试验设置状况如图1。 
  在ITO导电玻璃中生长出ZnO p-n结器材,运用电解法或烯酸将导电玻璃外表存在的ITO资料涂层进行腐蚀,构成绝缘区域;在导电玻璃上依照必定次第,掩盖生成一层P型ZnO薄膜及n型ZnO薄膜;运用真空蒸发镀膜法镀铝电极。 
  2澳门永利总站 试验成果及剖析 
  2.1 XPS丈量成果剖析 
  将反响炉内从高温区到低温区固体粉末样本设定为待测样品D1、D2、D3、D4。其间D1、D2归于中心高温区500 ℃环境中,D3、D4则归于低温区200 ℃环境中。测验元素别离为锌原子、氧原子、碳原子及氮原子。XPS丈量成果如图2。 
  研讨上图数据,能够获得样品D1、D2中所含有的氮原子含量明显高于D3、D4样品中含氮原子含量,这种现象标明,体系中发作了含有氮元素的ZnO反响;在高温区发作ZnO反响要比低温区发作的反响较为强烈。 
  经过研讨样品的XPS图谱,依据样品结合能峰进行推断,能够获取样品D1、D2中可能出产掺氮澳门永利总站化合物,而在D3、D4样品中,含有大量的氧原子及碳原子,氮原子含量极低,然后标明,在高温区范围内构成掺氮的p-ZnO可能性较大。 




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